• 提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。
• 剂量均匀的紫外光对光刻胶的曝光是非常关键的。
• 我听见过风穿丛林的喧嚣,见到过雨中花瓣的微颤,留意过青石板路上时光刻留下的古朴痕迹。
• 因此我们在原有样品的基础上对光刻版图重新进行了设计。
• 摘要采用有限状态机模型设计了集成电路光刻版上各个图形布局的自动系统。
• 采用新型的多层抗蚀剂结构的电子束光刻来形成图形。
• 运用激光刻蚀技术将持证人资料及相片刻写在个人资料页内
• 对实验结果的分析表明,进一步提高光刻深宽比的空间很大。
• 光刻线条均匀、一致,可以有效控制图形。
• 制造过程电抛光和电镀处理的激光刻录的孔壁,改善了锡膏转移的效果。
• 纳米计量与原子光刻技术分析
• 囊萤和映雪分别指晋朝车胤和孙康利用萤火虫的光和雪的反光刻苦读书的故事。
• 生产与销售的产品系列有:电腐蚀打标机、激光打标机、喷码机、气动打标机,激光雕刻切割机、激光刻章机、电动刻字笔、激光电源等。
• 对激光直写光刻的曝光量分布和线宽控制进行了相关理论分析和实验。
• 大卖场型的二维晶片不断向外扩展,会增加光刻影像在边界区域聚焦的困难。
• 对准之后,当照射光通过掩模的透明区域时,晶片上对辐射敏感的光刻胶曝光。
• 微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
• 影响全息光刻图形质量的因素
• 以上几种方法均能一定程度的改善光刻图形质量,但也有一些技术或工艺方面的局限。
• 通过选择合适的涂胶参数,在凹透镜表面上进行了薄光刻胶胶层的均匀涂布。
【词语名称】: 光刻
【词语拼音】: guāng kè
【词语意思】: 为一种平版印刷技术,用以转移电路设计图和晶片上的电子元件到晶圆上。晶圆上先涂有对光敏感的膜(抗光蚀),被透过光罩上的光照射到的部份会变硬,以利后续处理。
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